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一、 凈化工程的分類
1.層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100??梢苑譃橐韵?,兩種形式:
1)垂直層流式:房間天花板*以過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài),不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
2)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
2.亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。
優(yōu)點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
二、凈化工程的行業(yè)應用
隨著電子元器件向微小化方向發(fā)展,液晶面板已經升級至第八代,行業(yè)需求非常巨大。凈化工程是一個應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產業(yè),目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用,并根據行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大。凈化車間另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產車間,物聯網芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。
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